中文名称:米吡氯铵
中文别名:咪吡氯铵
CAS No:2748-88-1
EINECS号：220-387-1
分子式:C20H36ClN
沸点:°Cat760mmHg
闪光点:°C
用途:在湿式蚀刻或干式蚀刻之后的洗涤工序中，使用含有选自具有碳原子数12、碳原子数14或碳原子数16的烷基的咪唑鎓卤化物、具有碳原子数14或碳原子数16的烷基的吡啶鎓卤化物和具有碳原子数16或碳原子数18的烷基的卤化铵中的至少一种及水的用于抑制微细结构体的图案倒塌的处理液。其中由氧化硅形成的微细结构体为半导体装置或微机..
安全说明:Poison by ingestion, intraperitoneal, intravenous, and subcutaneous routes. When heated to decomposition it emits very toxic fumes of NOx and Cl−.